Park Systems是一家起源于美國硅谷世界知名技術領先的原子力顯微鏡制造商。中科院微電子所是中國微電子領域的領袖之一。2012年6月18日，這兩位微電子領域的巨人正式開始合作，一起進軍新一代的半導體材料“石墨烯”。天美(中國)科學儀器有限公司作為Park Systems在中國的獨家代理，以其雄厚的維修和應用支持力量，會為微電子所提供最優(yōu)良的技術和售后服務。
本次合作的另一大重要意義是將最為成熟的針尖增強拉曼光譜系統(tǒng)應用于最前沿的石墨烯研究。針尖增強拉曼光譜系統(tǒng)是目前研究的應用熱點，英文稱之為Tip Enhanced Raman Spectroscopy, 簡稱TERS。該技術利用表面等離子體共振現(xiàn)象，把原子力顯微鏡和拉曼光譜儀結(jié)合起來，將拉曼光譜儀的分辨率提高到了納米尺度。Park Systems公司和Horiba Jobin Yvon公司的合作開發(fā)的TERS系統(tǒng)是目前全世界最為成熟穩(wěn)定的。
為了紀念這一重大進展，天美公司副總裁趙薇女士、Park Systems的全球銷售總監(jiān)Jessica和微電子所的金智主任共同為示范實驗室的建立進行了揭幕，儀式后合影留念。三方一起為今后開展更為深入的技術合作進行了探討，并取得了非常愉快的共識。
石墨烯材料具有優(yōu)良的物理特性和易于與硅技術相結(jié)合的特點，被學術界和工業(yè)界認為是推進微電子技術進一步發(fā)展的極具潛力的材料，其開發(fā)者獲得了2010年的諾貝爾物理學獎。Park Systems生產(chǎn)的XE系列原子力顯微鏡已被成功應用于石墨烯機械和電子性能的測試，相關測量結(jié)果被發(fā)表在 Science、Nature materials和Nano Letter上。目前，中國科學院微電子研究所微波器件與集成電路研究室(四室)石墨烯研究小組在金智研究員和劉新宇研究員的帶領下，正致力于研制高性能的石墨烯電子器件。隨著Park Systems原子力顯微鏡的安裝和投入使用，必將會有更多更有價值的測量結(jié)果被發(fā)掘出來。
