牛津儀器目前正在中國科技大學納米技術中心安裝數臺PlasmaPro等離子刻蝕和沉積設備，以促進其在微納米技術領域的基礎研究。中國科學技術大學納米制造中心位于安徽合肥，致力于微納米領域的跨學科交流和基礎研究。

中國科學技術大學的朱學林博士談道，“在納米科學和工程領域，中國科學技術大學擁有雄厚的背景。所屬的納米技術中心采購的牛津儀器設備包括：一臺 PlasmaPro100 ICP380硅蝕刻設備，一臺PlasmaPro80 RIE先進蝕刻設備和一臺PlasmaPro100 PECVD用于二氧化硅和氮化硅。 這些設備可以批量在晶片上形成形狀各異的納米結構，該技術在納米科技的領域（包括量子物理、量子信息、納米材料和納米化學）至關重要。我們之所以選擇牛津 儀器，是因為他們能提供多項尖端技術、杰出的工藝靈活性和性能，并具備有效可靠的客戶支持，完全能滿足中國科學技術大學的需求。”

“作為全球領先的等離子刻蝕和沉積設備領域供應商，牛津儀器的主要優勢是可以提供廣泛的研發工藝和系統解決方案，從而成為全球各研究機構的首選。” 牛津儀器等離子部銷售與市場總監David Haynes博士談道，“中國科技大學的研究工作者正在突破納米科學、納米工程和納米技術的局限性，積極地創造新型的納米材料、結構和芯片，非常榮幸我們 的設備能促進這項杰出的研究工作。”