空氣壓力控制式主動隔振系統MAPS系列 

小型卻可以除去全自由度方向的振動
明立精機MAPS系列的主動隔振系統是將垂直用和水平用的氣壓啟動器集結到小型單體的組合式模型。同時使用4個同樣單體便可以對全自由度方向的振動發揮出優越的隔振性能，制振性能及定位性能。

可以除去被動隔振所無法除去的頻帶域上的振動
被動隔振常常會遇到由系統固有振動所引起的共振問題。主動隔振除了可以消除共振現象以外，還可以除去在此頻帶域上的振動。例如，對于被動隔振所不太在行的 2Hz附近低頻振動，主動隔振可以將振動減小至被動隔振的1/30至1/100。

標準MAPS可以為10噸以上的承載裝置隔振
近來隨著機能的充實，精密器械越來越趨向于大型化。總重量超過10噸以上的裝置已經被開發出來了。裝置的大型化導致固有頻率的降低，從而使至今幾乎沒成為問題的低頻振動也會成為問題。這也是為什么精密器械需要低頻隔振性能優越的主動隔振系統的理由之一。

承載運轉載物臺也不會有振動
在由柔軟彈性體支撐而實現隔振效果的被動隔振裝置上放上X-Y載物臺等運轉裝置時，整個系統會產生較大的搖動反而會使振動加大。主動隔振是通過反饋控制使裝置保持靜止狀態而達到減振的目的。另外，事先根據載物臺運轉的信號輸出，通過輸入將振動抑制到最小的反饋控制，便可以實現幾乎沒有振動的環境。

MAPS在定位精度及保持水平精度方面也很優越
裝置越大，傾斜就越成問題。由于裝置自身很重，傾斜會帶來由自重而引起的彎曲從而對精度產生極大的影響。MAPS也將水平精度調節包含在控制過程，從而防止了傾斜且保證了水平精度。另外，MAPS在定位精度方面的控制可以使芯片或液晶板的交接得以順利實施。

MAPS是小型且易使用的組合體
MAPS系列是為了方便與承載裝置組合而將所需的全部功能集結至小型組合體的隔振裝置。只要為MAPS的安裝確保所需的空間，你便可以得到所需的隔振效果。MAPS系列的控制系統非常安定。它不僅可以使用于公司內部設備的使用，而且可以安心地用于銷售給客戶的產品之中。

MAPS是構成精密器械的重要部分之一
至今，大多客戶是由于擔心振動而使用隔振裝置的。可是隨著精密器械高精度化，高功能化和大型化的進展，若不使用隔振裝置來消隔振動的影響的話，精密器械就不能按照產品說明書上寫的那樣正常地發揮其性能。因此，隔振裝置不止是精密器械的附帶裝置，而且是構成精密器械及發揮精密器械性能的不可缺少的重要組成部分。

在裝置開發開始時就請與我們聯系
MAPS將隔振所需要的功能全部集結至小型組合體。因此，不需要象從前那樣地為安裝隔振裝置而保留很大的空間。當然，MAPS在裝置開發后也可以進行安裝，但會有很多限制條件產生。無論從隔振性能或費用來講，裝置開發后的安裝并不是最佳方案。在裝置開發階段就應以MAPS裝入進去的狀態進行臺架及框架的設計。這樣不僅可以有效地利用空間也可以將MAPS安裝在使隔振性能達到最佳的有利位置。
因此，在開始設計開發精密器械時就將MAPS的安裝也同時考慮在內的話，便可以使振動環境達到更優化的狀態。 

MAPS系列標準型的主要規格
型號 MAPS-008 MAPS-016 MAPS-033 MAPS-065 MAPS-130 MAPS-240 
可乘載的重量 [kN]
([kgf]) 4 - 8
(400 - 800) 8 - 16
(800 - 1600) 16 - 33
(1600 - 3400) 33 - 65
(3400 - 6600) 65 - 130
(6600 - 13300) 130 - 240
(13300 - 24500) 
機體尺寸 WxDxH [mm] 235x235x130 295x295x140 350x350x150 450x450x190 600x480x190 700x600x267 
1個組裝體的機體重量 [kg] 13 42 63 110 180 230 
供給空氣壓 [MPa] 0.6 - 0.8 
穩態空氣消費量 [l/min] 45 - 65 120 - 170 
最大空氣消費量 [l/min] 120 300 
電源電壓 [V] 100 - 240 (AC, 50/60Hz) 
額定消費電力 [W] 400 450 
定位精度 [mm] 0.001 - 0.050 
控制軸數量 <=6