本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
Ø       玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
Ø       試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯
Ø       金靶尺寸：Φ58mm
Ø       真空系統：直聯旋片真空泵2L/S
Ø       真空檢測：皮氏計
Ø       真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
Ø       工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節
應用領域：
    金的離子濺射

010-82548216