MicronX型熒光測(cè)厚儀是一種專門應(yīng)用于半導(dǎo)體材料和電子器件領(lǐng)域的檢測(cè)設(shè)備。 檢測(cè)區(qū)域?yàn)?0m~500um. 通過(guò)CCD 可放大圖像達(dá)300倍。通過(guò)高精密度樣品臺(tái)可提供元素面分布圖。 可對(duì)多達(dá)7層的涂層或鍍層進(jìn)行逐層厚度測(cè)量。