本設備用于硅材料行業中，用于腐蝕清洗硅棒制備設備所用的石墨器件和其他工序反復使用的石墨器件。設備共由以下功能單元組成
對用于硅棒制備設備所用的石墨器件和其他工序反復使用的石墨器件進行腐蝕、清洗、烘干，具有較快的清洗速度和較高的清洗質量，清洗的石墨件最大尺寸為Φ800×800（mm）。
工件進出清洗槽人工操作外，其余酸浸、浸煮、配酸、補酸、烘干脫水過程能夠自動完成，并能設定各工序時間。確保設備材料耐強酸腐蝕（HCl+HNO3）。