本設備用于硅材料行業中，對小尺寸硅料進行腐蝕清洗、烘干。設備共由以下功能單元組成
 對為檢驗多晶硅棒產品質量所制備的多晶片、塊樣及單晶棒試樣進行清洗、烘干，具有較快的清洗速度和較高的清洗質量，清洗的硅塊尺寸最大為Φ140×50（mm）或Φ40×200（mm）。
 進出料、腐蝕、清洗、烘干為人工操作，配酸、補酸能夠自動完成，并能設定各工序時間。確保設備材料耐強酸腐蝕（HF+HNO3）。
整個腐蝕清洗臺的工作環境潔凈度達到100級