本真空冶金爐由主體反應爐（帶冷凝收集器）、機械真空泵及測量、電控柜及相關聯接組成。

主體反應爐采用石墨發熱體加熱，鉑銠熱電偶測溫，精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫，最高溫度達1600℃，控溫精度為±1℃；主體反應爐同時帶冷凝收集器，外殼具水冷功能。