本真空冶金爐由主體反應爐（帶冷凝收集器）、真空系統、電控柜及相關聯接組成。

主體反應爐采用硅碳棒作為發熱元件，鉑銠熱電偶測溫，精密程序控溫儀+可控硅移相調壓，最高溫度1400℃，控溫精度為±1℃；主體反應爐同時帶冷凝收集器，設備外殼為不銹鋼雙層水冷結構，具低水壓保護功能。

整個加熱收集系統采用真空密封，空爐真空度達10Pa。