光學輪廓儀 NT9100
 
Wyko NT 9100光學輪廓儀是一款便捷的、精確的、實用的非接觸三維形貌測量系統(tǒng)。作為第九代系統(tǒng)，它采用已申請專利的雙光源照明技術(shù)，同時實現(xiàn)了對超光滑表面和粗糙表面進行非接觸表征，應(yīng)用范圍涵蓋了亞納米量級粗糙度測量到毫米尺度臺階高度測量。作為行業(yè)內(nèi)最值得信賴的及重現(xiàn)性最好的桌面式機臺，NT9100可滿足研發(fā)、磨損分析、失效分析及工藝控制等領(lǐng)域的需求。
作為NT 9000光學輪廓儀系列的臺式型號，NT9100具有許多和大型機臺一樣的優(yōu)點，包括：測量設(shè)置簡單易學，高速數(shù)據(jù)采集能力，強大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級的測試重復精度。可選配的X-Y自動樣品臺使NT9100實現(xiàn)程序化，這是在Wyko桌面式輪廓儀系列的首次應(yīng)用。
 
NT9100的量測性能與其他NT9000系列產(chǎn)品相當，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件，該軟件是行業(yè)內(nèi)功能最全的分析軟件，可實現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具，包括自動測序功能、數(shù)據(jù)記錄和實時反饋及統(tǒng)計控制過程的合格/不合格標準。用戶采用可選的MATLAB® 軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。

光學輪廓儀 NT9300
 
Wyko NT9300光學輪廓儀是最新系列中的一款具有自動化功能的光學輪廓儀，可實現(xiàn)最便捷的高速表面形貌測量。該系統(tǒng)的測量設(shè)置簡單易學，即可滿足最基本的檢測，也可根據(jù)客戶制定的產(chǎn)品合格/不合格判據(jù)數(shù)據(jù)庫并利用其全自動XYZ樣品臺進行量測。
 
NT9300采用Veeco最新的第九代光學輪廓儀傳感技術(shù)，同時可針對大尺寸樣品、縫合的及不規(guī)則的樣品實現(xiàn)大范圍掃描（垂直方向最高可達10mm）。采用Veeco已申請專利的雙-LED光源技術(shù)，系統(tǒng)可滿足任何測量范圍的光學需求。電動化XYZ樣品臺及獨特的基于頭部的俯仰/傾斜功能使任何使用水平的操作者都可以很容易地進行樣品安裝，調(diào)試。
 
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件提供200多種分析工具，包括自動序列測量和數(shù)據(jù)記錄功能。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件（針對100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地實現(xiàn)自動化，MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。
 
結(jié)合了創(chuàng)新設(shè)計的硬件及強大功能的軟件，NT9300是一款生產(chǎn)監(jiān)控及工藝研制周期中不可或缺的理想工具。

光學輪廓儀 NT9800
 
Wyko NT9800是目前功能最強大的光學輪廓儀，可快速地測量臺階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Veeco行業(yè)領(lǐng)先的第九代NT系列產(chǎn)品線的最高端產(chǎn)品，NT9800可對0.1nm至10毫米尺寸進行非接觸式三維測量，并具有納米量級的垂直分辨率。
 
具有定標功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿足產(chǎn)品開發(fā)的需要，并可作為一個向量產(chǎn)過渡地穩(wěn)定的，可靠的平臺。采用Veeco獨有的內(nèi)部參考激光將測量的標準臺階上的偏差降低到最小，同時可彌補自環(huán)境或機械不穩(wěn)定性造成的系統(tǒng)飄移。NT9800將最強大的測量核心技術(shù)、全自動化功能、大于十年以上的量產(chǎn)支持體系，及使用簡便的界面集于一身，已成為要求苛刻的科學研究及生產(chǎn)實踐的最佳選擇。
 
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件有超過200種的數(shù)據(jù)分析工具，包括自動序列測量、數(shù)據(jù)記錄及及時反饋和SPC的合格/不合格標準評判。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件（針對100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地實現(xiàn)自動化，MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。
 
NT9800光學輪廓儀是一款操作簡便、目前最高端的光學輪廓儀。