自平衡支架主要參數(shù): 
●平面不大于0.10mm/㎡
●表面粗糙度小于0.8um 
●固有頻率1.0Hz～2.8Hz
●振幅不大于2.2um
本支架可氣泵自動充氣，自動調節(jié)平衡，使用方便，支撐腿直徑為220mm,整體高度為600，可調節(jié)范圍0-70，支撐腿可選擇方形！
氣浮式支架主要參數(shù)：
·平面度不大于0.10mm/㎡
·表面粗糙度小于0.8um～1.6um
·固有頻率3Hz～5Hz
·振幅不大于4um
本支架不可自動充氣，為人工充氣，
支撐腿直徑為220mm,整體高度為600，可調節(jié)范圍0-70，支撐腿可選擇方