據(jù)日經(jīng)BP社消息，牛尾電機(jī)在近日上市了厚度為4.9mm的紫外線(UV)照度計(jì)“UIT-θ365”。

　　在半導(dǎo)體、液晶面板和電子部件等的制造工藝及UV印刷工序中，光刻膠和油墨的硬化、精密部件和鏡頭的粘結(jié)以及光學(xué)薄膜的涂布等均通過UV進(jìn)行，因此需要定期進(jìn)行UV照度管理以保證質(zhì)量。但是，由于裝置條件和照射環(huán)境的關(guān)系，有時(shí)難以進(jìn)行測(cè)量。據(jù)牛尾電機(jī)介紹，尤其是在光學(xué)薄膜制造和精密部件粘連工序中存在以下課題。

　　■光學(xué)薄膜

　　以提高生產(chǎn)效率為目的加長(zhǎng)薄膜寬度的同時(shí)，UV照射面積也會(huì)逐漸增大。UV照射量的不均會(huì)使質(zhì)量參差不齊并降低質(zhì)量，這在原來的小尺寸薄膜中并不會(huì)造成影響，為防止出現(xiàn)上述問題需要進(jìn)行UV照度管理。但是，制造裝置的開口部(放入薄膜的部位)存在高度限制，而且光源部和薄膜間的照射距離較窄，因此照度計(jì)的厚度問題導(dǎo)致測(cè)量難以進(jìn)行。

　　■精密部件粘連

　　為了在極小面積上進(jìn)行高密度粘連，牛尾電機(jī)通過使光源部和照射對(duì)象物靠近來維持較高的UV照度，因此需要定期進(jìn)行UV照度管理。目前，光源部和照射對(duì)象物之間的照射距離較窄，因此需要擴(kuò)大照射距離進(jìn)行測(cè)量。但是，由于與實(shí)際照射條件(距離和角度等)存在差異，因此難以準(zhǔn)確測(cè)量，而且每次測(cè)量時(shí)需要重新調(diào)整照射條件。

　　針對(duì)上述課題，牛尾電機(jī)通過利用主要在半導(dǎo)體和液晶面板制造領(lǐng)域培育的UV測(cè)量技術(shù)，開發(fā)出了厚度僅為4.9mm的無線紫外線照度計(jì)。不管高度限制和照射距離等照射條件如何，都可以在與實(shí)際制造時(shí)相同的條件下測(cè)量和管理UV照度。

　　新產(chǎn)品的絕對(duì)值校準(zhǔn)波長(zhǎng)為365nm，靈敏度波長(zhǎng)為345nm～385nm。外形尺寸為90mm(帶U盤蓋時(shí)為91mm)×25mm×4.9mm，重量為25g。牛尾電機(jī)已經(jīng)在2011年12月7日～12月9日于幕張Messe會(huì)展中心舉行的“Semicon Japan 2011”上展出。