高精度測(cè)量極微小部位的金屬薄膜厚度
精工電子納米科技有限公司（簡(jiǎn)稱：SIINT，社長(zhǎng)：川崎賢司，總公司：千葉縣千葉市）是精工電子有限公司（簡(jiǎn)稱：SII，社長(zhǎng)：新保雅文，總公司：千葉縣千葉市）的全資子公司，其主要業(yè)務(wù)是測(cè)量分析儀器的生產(chǎn)與銷售。本公司于12月19日開始銷售可高精度測(cè)量電鍍・蒸鍍等極微小部位的納米級(jí)別的鍍層厚度測(cè)量?jī)x「SFT9500X系列」。出貨時(shí)間預(yù)定為2012年2月上旬。
高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x 「SFT9550X」
要對(duì)半導(dǎo)體、電子部件、印刷電路板中所使用的電鍍・蒸鍍等金屬薄膜的膜厚・組成進(jìn)行測(cè)量管理，就必須確保功能、品質(zhì)及成本。特別是近年來隨著電子儀器的高功能化、小型化的發(fā)展，連接器和導(dǎo)線架等電子部件也逐漸微細(xì)化了。與此同時(shí)，電鍍・蒸鍍等金屬薄膜厚度的測(cè)量也要求達(dá)到幾十微米的極微小部位測(cè)量以及達(dá)到納米等級(jí)的精度。「SFT9500X系列」通過新型X射線聚光系統(tǒng)（毛細(xì)管）和X射線源的組合，可達(dá)到照射直徑30μmφ的高能量X射線束照射。以往的X射線熒光膜厚儀由于照射強(qiáng)度不足而無法獲得足夠的精度，而「SFT9500X系列」則可以對(duì)導(dǎo)線架、連接器、柔性線路板等的極微小部位進(jìn)行準(zhǔn)確、迅速的測(cè)量。
SIINT于1978年在世界上率先推出了臺(tái)式X射線膜厚儀，而后在日本國(guó)內(nèi)及世界各地進(jìn)行廣泛銷售，得到了顧客很高的評(píng)價(jià)。此次推出的「SFT9500X系列」是一款凝聚了長(zhǎng)期積累起來的X射線微小部位測(cè)量技術(shù)的高性能X射線熒光膜厚儀。今后將在電子零部件、金屬材料、鍍層加工等領(lǐng)域進(jìn)行銷售，對(duì)電子儀器的性能・品質(zhì)的提高作出貢獻(xiàn)。
【SFT9500X系列的主要特征】
1. 極微小部位的薄膜・多層膜測(cè)量
通過采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型（SFT9500）同等強(qiáng)度的X射線聚集在30μmφ的極微小范圍。因此，不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等級(jí)的微小范圍。同時(shí)，也可對(duì)幾十納米等級(jí)的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。
2.掃描測(cè)量
通過微小光束對(duì)樣品進(jìn)行XY掃描，可把樣品的鍍層厚度分布和特定元素的含量分布輸出為二維掃描圖像數(shù)據(jù)，更方便進(jìn)行簡(jiǎn)單快速的觀察。
3. 異物分析
通過高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。
【SFT9500X系列的主要產(chǎn)品規(guī)格】
| SFT9500X | SFT9550X | |
| 樣品臺(tái)尺寸 （寬）×（長(zhǎng)） |
175×240 mm | 330×420 mm |
| 樣品臺(tái)移動(dòng)量 （X）×（Y）×（Z） |
150×220×150 mm | 300×400×50 mm |
| 被測(cè)樣品尺寸（最大） （寬）×（長(zhǎng)）×（厚度） |
500×400×145 mm | 820×630×45 mm |
| X 射 線 源 | 空冷式小型X射線管（最大50kV，1mA） | |
| 檢 測(cè) 器 | Vortex半導(dǎo)體檢測(cè)器（無需液氮） | |
| 照 射 直 徑 | 最小30μmφ | |
| 樣 口 觀 察 | CCD攝像頭（附變焦功能） | |
| 樣 品 對(duì) 焦 | 激光點(diǎn) | |
| 濾 波 器 | Au極薄膜測(cè)量用濾波器 | |
| 操 作 部 | 電腦、19英寸液晶顯示器 | |
| 測(cè) 量 軟 件 | 薄膜FP法、薄膜検量線法 | |
| 選 配 | 能譜匹配軟件、紅色顯示燈、打印機(jī) | |
| 測(cè) 量 功 能 | 自動(dòng)測(cè)量、中心搜索 | |
| 數(shù) 據(jù) 處 理 | Microsoft® Excel、Microsoft® Word（配備統(tǒng)計(jì)處理；測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、最大・最小值、CV值、Cpk值等測(cè)量結(jié)果報(bào)告制作（包含樣品圖像）） | |
| 安 全 功 能 | 樣品室門安全鎖、儀器診斷功能 | |
【價(jià)格】 1,650萬日元～（不含稅）
【出貨開始時(shí)間】 2012年2月上旬
【銷售目標(biāo)臺(tái)數(shù)】 50臺(tái)（2012年度）
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