2.熟悉用干涉法測量表面粗糙度的原理

    3.加深對表面粗糙度評定參數中的微觀不平度

    一、測量原理

    干涉顯微鏡是利用光波干涉原理和顯微鏡系統測量表面粗糙度的量儀。它用光波干涉原理反映出被測表面的粗糙程度，用顯微系統進行高倍放大后觀察和測量。

    二、實驗步驟

    1.調整量儀

    接通電源，預熱15-30分鐘;轉動手輪至目視位置，轉動手輪使遮光板移出光路，此時從目鏡可看到明亮的視場。若視場亮度不勻，可轉動螺釘來調節;轉動手輪，使視場中下方的弓形直邊清晰，松開螺釘，取下目鏡，從目鏡管直接觀察到兩個燈絲象。將孔徑光闌開至最大，轉動手輪使兩個燈絲象完全重合;將被測工件放在工作臺上，被測表面向下對準物鏡。轉動手輪使遮光板遮住標準鏡，推動滾花輪，使工作臺在任意方向移動，轉動滾花輪使工作臺升降，直至視場中觀察到清晰的被測表面影像為止，再轉動手輪，使遮光板移出光路。

    2.找干涉帶

    此時采用單色光，慢慢地來回轉動手輪，直至視場中出現清晰的干涉條紋為止。

    4.測量

    轉動滾花輪，使工作臺旋轉，調節干涉條紋的方向使之垂直于加工痕跡，松開螺釘，轉動目鏡，使視場中十字線的一條直線與干涉條紋平行，然后把目鏡固緊。接著開始測量你所需測量的數據。