中國科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國家重點實驗室夏善紅研究員團隊經(jīng)過十余年的深入研究，成功研制出基于MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的電場傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品，包括地面大氣電場傳感器、探空大氣電場傳感器、三維電場傳感器，以及面向智能電網(wǎng)應(yīng)用的電場傳感器，于2013年9月通過了產(chǎn)品設(shè)計定型鑒定，已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應(yīng)用。

　　該系列產(chǎn)品的特點有體積小，空間分辨率高，功耗低;無電機磨損部件，穩(wěn)定性好，可靠性高；可同時測量靜電場和交變電場;可用于單點電場探測或區(qū)域多點無線組網(wǎng)電場探測。

　　產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)、氣象等多個領(lǐng)域的二十余家單位使用，受到用戶的一致好評。

 地面大氣電場傳感器

 探空大氣電場傳感器

 三維電場傳感器

 智能電網(wǎng)應(yīng)用電場傳感器

　　據(jù)業(yè)內(nèi)預(yù)測，隨著全球電子制造業(yè)繼續(xù)向中國轉(zhuǎn)移，預(yù)計2013年至2015年，中國MEMS市場將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長，到2016年，中國MEMS市場銷售額預(yù)計將超過350億元。