等離子清洗機真空反應艙尺寸：內徑4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米）深

材質：純石英

輸入功率：150W（最大）

工作頻率：13.56MHz

射頻功率：0W~30W 功率旋鈕連續調節

洗機重量：16公斤（約）

尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）寬x 12.4英寸（315毫米）深

真空計：熱偶式、數碼顯示、實時監控真空反應艙內壓力。

氣體混合計：配備氣體流量控制系統，可以精密控制工藝氣體喂入及混合。

配套托盤：純石英材質